O uso da almofada de polimento
2022/05/19
1. O líquido de polimento é transportado de forma eficaz e uniforme para diferentes áreas da
almofada de polimento
.
2. Após o polimento, a reação química é totalmente realizada e os reagentes e detritos são descarregados suavemente e o efeito de remoção é alcançado.
3. Manter o filme líquido polido na superfície da almofada de polimento para que a reação química seja totalmente realizada.
4. Mantenha o processo de polimento suave, a superfície não se deforma, para obter uma melhor topografia da superfície do wafer.
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